Hva er en poleringsplate av keramisk wafer med høy renhet av aluminiumoksyd?

Med den raske utviklingen av halvlederindustrien har industriens skala økt raskt, og utstyr for halvlederproduksjon har fortsatt å utvikle seg til presisjon og kompleksitet. Fordi keramikk har fordelene med høy hardhet, høy elastisitetsmodul, høy slitestyrke, høy isolasjon, korrosjonsbestandighet, lav ekspansjon, etc., kan det brukes som deler av silikonpoleringsmaskiner, epitaksial/oksidasjons-/diffusjonsvarmebehandlingsutstyr, litografimaskiner, avsetningsutstyr, halvlederetsingsutstyr, ionimplantasjonsmaskiner og annet utstyr, slik at forskning og utvikling og produksjon av presisjonskeramiske deler direkte påvirker utviklingen av halvlederindustrien. De tekniske kravene til fremstillingen blir stadig høyere.

Høyren aluminiumoksyd, 99,7 %–99,9 % aluminiumoksyd.
Høy mekanisk styrke, høy slitestyrke, høy elektrisk isolasjon, høy kjemisk stabilitet, god varmebestandighet og korrosjonsbestandighet. For tiden er bruk av keramiske slipeskiver for halvledersilisiumskiver den mest overlegne og banebrytende slipemetoden. Den dobbeltsidige slipeprosessen brukes til å slipe den kuttede silisiumskiven, og kvaliteten på slipeskiven forbedres ved å forbedre slipeprosessen (skivemateriale, slipevæske, slipetrykk og slipehastighet, etc.). Spesielt bruk av keramiske plater i stedet for støpejernsplater, for å unngå sliping på hovedoverflaten av skiven forårsaket av arr eller forurensning, redusere innføringen av metallioner, redusere den påfølgende bearbeidingen av silisium, forkorte den påfølgende prosesseringstiden (korrosjon), forbedre produksjonseffektiviteten og redusere tapet av silisiumbearbeiding, forbedre utnyttelsen av silisium betraktelig.

Poleringsplate med høyt alumina-nivåbrukes i halvleder-, petroleums-, kjemisk-, solcelle-, flytende krystall- og andre industrier, som mekaniske deler, elektroniske deler, mikrobølgeinduksjonsskiver, isolasjonsmaterialer og andre deler, halvlederenheter, vakuumutstyr, utstyr for produksjon av flytende krystaller og andre deler. Stor og ren aluminakeramikk har viktig bruksverdi i safirindustrien og halvlederbrikkeindustrien. Det er en viktig støtte og forbruksvare for kjemisk-mekanisk polering (CMP) av safir- og halvledersilisiumskiver. Stor og ren aluminakeramikk kan også brukes som et aluminasubstrat for LCD-skjermer.